试题详情
多项选择题硅外延生长工艺包括()。

A、衬底制备

B、原位HCl腐蚀

C、生长温度,生长压力,生长速度

D、尾气的处理

  • A,B,C,D
  • 关注下方微信公众号,在线模考后查看

热门试题