试题详情
简答题描述CVD反应中的8个步骤。
  • 1）质量传输
    2）薄膜先驱物反应
    3）气体分子扩散
    4）先驱物吸附
    5）先驱物扩散进衬底
    6）表面反应
    7）副产物解吸
    8）副产物去除

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