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简答题简述真空煅烧清洗法清洗组件的工作过程？
  • ①升温至300℃左右并保温一定时间，使聚合物熔化并清除熔化物料；
    ②升温至350℃左右，使聚合物分解；
    ③抽真空，升温至500℃左右，并保温一定时间，通入少量空气，使残留物氧化；
    ④抽出产生的气体和灰份微粒。

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