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简答题简述7次光刻的第二次光刻中O2灰化的作用。
  • O2灰化是在4层CVD之后阻挡层i/sSiNx膜的上面进行氧气O2等离子体处理,把表面具有亲水性的i/sSiN薄膜变成疏水性的SiOx薄膜,增强与光刻胶的附着性。
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