简述物理气相沉积原理及其应用。

正确答案：（1）原理：利用某种物理过程，如物质的热蒸发或在受到粒子轰击时物质表面原子的溅射等现象，实现物质原子从源物质到薄膜的可控转移的过程。
1）镀料的气化；使镀料蒸发、升华或被溅射，也就是通过镀料的气化源。
2）镀料原子、分子或离子在相对较低的气体压力环境的迁移；由气化源供出原子、分子或离子经过碰撞后，产生多种反应。
3）镀料原子、分子或离子在基体上不发生化学反应沉积。
（2）应用：电子束物理气相沉积被广泛应用于航空、航天、船舶和冶金等工业领域。而离子镀广泛用于机械、电子、航空、航天、轻工、光学和建筑等部门，用以制备耐磨、耐蚀、耐热、超硬、导电、磁性和光电转换等镀层。
答案解析：
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