试题详情
多项选择题一般来说，溅射镀膜的过程包括（）这几步。

A、产生一个离子并导向靶

B、被轰击的原子向硅晶片运动

C、离子把靶上的原子轰出来

D、经过加速电场加速

E、原子在硅晶片表面凝结

  • A,B,C,E

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