试题详情
多项选择题在对层间绝缘膜进行CMP时，层间绝缘膜的表面会随下列那些因素产生变化（）。

A、电路图形结构的凹凸

B、尺寸大小

C、位置分布

D、高度

E、密集程度

  • A,B,C,D,E

  • 关注下方微信公众号，在线模考后查看

热门试题