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简答题简述PECVD设备的特点。
  • P.ECVD设备的优点：
    1）可以大面积均匀成膜、生长性好、能在较低的温度下形成致密的薄膜；
    2）可防止热产生的损伤及相互材料的扩散；
    3）可生长需要低温成膜及及反应速度慢的薄膜；
    4）设备内的平行电极方便实现大面积化。

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