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简答题简述激光转移技术的工艺流程。
  • 1）在载膜基板上先镀一层Mo膜做吸光层。
    2）在显示基板上制作了驱动电路的有源矩阵阵列后，最外面曝露的像素电极ITO同时为OLED的阳极。上面先制作像素隔离层。再连续蒸镀空穴注入层、空穴传输层等有机功能层。
    3）把载膜基板和显示基板放入真空室，用夹具固定住。
    4）抽真空，在真空室内用对位装置将两块基板对准，贴合。贴合后将真空室放大气。
    5）将基板移到大气中的激光系统下，放在扫描平台上。用激光系统上的对位装置将激光头与显示基板上的像素精确对位。然后激光头向y方向移动，扫描平台向x方向扫描。
    6）激光照射，吸光层吸收热量，导致发光层真空升华到显示基板的像素位置，实现激光转移。
    7）一种颜色的发光层转移完成后，取下夹具，移开载膜基板，重复上面的过程。把红、绿、蓝三基色发光层分三次采用激光转移的方法分别转移到显示基板上。
    8）三色发光层转移完成后，夹具取下，载膜基板移开后，最后在显示基板上蒸镀电子传输层和阴极。

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