试题详情
单项选择题为了避免（）在经过氯化物等离子体刻蚀之后的残留物使其发生腐蚀，必须在刻蚀完毕之后再增加一道工序来除去这些表面残留物。

A、多晶硅

B、单晶硅

C、铝硅铜合金

D、铜

  • C

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