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简答题什么是硅化物？难熔金属硅化物在硅片制造业中重要的原因是什么？
  • 硅化物是难熔金属与硅反应形成的金属化合物，是一种具有热稳定性的金属化合物，并且在硅/难熔金属的分界面具有低的电阻率。
    难熔金属硅化物的优点和其作用：
    1、降低接触电阻
    2、作为金属与有源层的粘合剂
    3、高温稳定性好，抗电迁移性能好
    4、可直接在多晶硅上淀积难熔金属，经加温处理形成硅化物，工艺与现有硅栅工艺兼容

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