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简答题什么是薄膜？
  • 薄膜：指某一维尺寸远小于另外两维上的尺寸的固体物质。
    好的台阶覆盖能力 、高的深宽比填隙能力（>3：1）
    厚度均匀（避免针孔、缺陷）、高纯度和高密度、受控的化学剂量
    结构完整和低应力、好的粘附性（避免分层、开裂致漏电）

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