试题详情
简答题在光刻中，能够在增加分辨率的同时增加聚焦深度吗？为什么？
  • 不能！聚焦深度：在保持图形聚焦的前提下，沿着光路方向晶圆片移动的距离是聚焦深度——
    ，NA为数值孔径，意味着增加分辨率会减小聚焦深度，因此分辨率和聚焦深度之间必须做某些折中。

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