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简答题给出半导体质量测量的定义。例出在集成电路制造中12种不同的质量测量。
  • 半导体质量测量定义了硅片制造的规范要求，以确保满足器件的性能和可靠性。
    集成电路制造中的12种不同的质量测量：
    1.膜厚
    2.方块电阻
    3.膜应力
    4.折射率
    5.掺杂浓度
    6.无图形表面缺陷
    7.有图形表面缺陷
    8.关键尺寸
    9.台阶覆盖
    10.套刻标记
    11.电容-电压特性
    12.接触的角度

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